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荷兰ASML全球副总裁:对中国出口光刻机保持开放态度

  11月6日,荷兰光刻机巨头ASML副总裁、中国区总裁沈波在第三届中国国际进口博览会上对媒体表示,公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。

荷兰ASML全球副总裁:对中国出口光刻机保持开放态度

  在本届进博会上,ASML尽管由于出口限制没有带来EUV光刻机,但是展示了DUV光刻机,可用于可生产7nm以及更大制程芯片的制造。沈波对媒体讲到,ASML在中国也建立了自己的培训中心,培养光刻行业人才 , 同时在深圳和北京成立了两家技术开发中心,做计算光刻、量测等开发。

荷兰ASML全球副总裁:对中国出口光刻机保持开放态度

  而对于外界最关心的EUV光刻机出口许可问题,他认为ASML 必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的,我们对全球客户都一视同仁,只要是我们能够提供的技术和设备,我们都会全力支持。

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